SEM:掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope ，縮寫 為SEM），簡稱掃描電鏡，是利用細(xì)聚焦電子束在樣品表面掃 描時(shí)激發(fā)出來的各種物理信號(hào)來調(diào)制成像的一種常用的顯微分析儀器。

      SEM原位冷熱臺(tái)是一種在掃描電子顯微鏡（SEM）標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)上（無需改造電鏡內(nèi)部），提供樣品原位變溫測試的電鏡附件。通過外接法蘭裝置實(shí)現(xiàn)對(duì)冷熱臺(tái)上的樣品進(jìn)行控溫，穩(wěn)定后溫控精度可達(dá)±0.1℃ 可實(shí)現(xiàn)樣品變溫測試的溫度范圍：蔡康SEM原位冷熱臺(tái)-196~200℃ / -196~200℃/-120-600℃/RT-1500℃，滿足原位高低溫材料相變微觀表征。SEM原位冷熱臺(tái)適合于各種樣品在SEM中進(jìn)行高低溫結(jié)構(gòu)研究，固定在現(xiàn)有樣品臺(tái)上,還可以加上探針構(gòu)成探針冷熱臺(tái)。支持在現(xiàn)有各種掃描電子顯微鏡（日立、國儀量子等）適配。

蔡康SEM原位冷熱臺(tái)特點(diǎn)：

（1）通過加熱和制冷可實(shí)現(xiàn)快速升降溫
（2）控溫精度高±0.1℃，可程序階梯控溫，溫控范圍寬（-196~200℃ / -196~200℃/-120-600℃/RT-1500℃）
（3）能在較大的電子束流下獲得高質(zhì)量圖像
（4）可定制SEM樣品架，使用過程簡單
（5）制冷完成測試后可快速（60℃/min）升溫達(dá)到室溫，正常更換樣品，測試效率高。